Minden egyes mérési elvnek megvannak a maga előnyei és korlátai. Az alábbi táblázat, még ha nem is térhet ki minden lehetséges szempontra, segíthet a megfelelő technológia kiválasztásában.
Mérési elv | Háromszögeléses | Konfokális | Örvényáramos | Kapacitív |
---|---|---|---|---|
(1) A méréstartomány %-ában (2) Legkisebb elérhető (3) Analóg kimenetnél értelmezett (4) Digitális kimenetnél értelmezett (5) FSO = Full Scale Output, azaz teljes méréstartomány |
||||
Méréstartomány | 2…1000 mm | 0,3…30 mm | 0,4…80 mm | 0,05…10 mm |
Linearitás [%](1) | ±0,02% | ±0,05% | ±0,2% | ±0,025% |
Linearitás [μm](2) | 0,4 μm | 0,15 μm | 0,8 μm | 0,0125 μm |
Felbontás [%](1) | 0,0015% | 0,004% | 0,005% | 0,000075% |
Felbontás [nm](2) | 30 nm | 12 nm | 20 nm | 0,0375 nm |
Sávszélesség(3) | 37,5 kHz | – | 100 kHz-ig | 8,5 kHz-ig |
Mintavételezési frekvencia(4) | 100 kHz-ig | 70 kHz-ig | – | 50 kHz-ig |
Hőmérséklet-tartomány | 0°C…55°C | 10°C…50°C | -50°C…350°C | -50°C…200°C |
Hőmérséklet-stabilitás [%, FSO/°C](5) | < ±0,01% | < ±0,01% | < ±0,015% | < ±0,0005% |